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SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動探針臺，設計靈活，易于使用，可用于高效設備表征，晶圓級可靠性測試和故障分析。這些半自動探針臺系統(tǒng)設計用于支持多200mm晶圓的手動和半自動探測。

MicroXact的半自動探針臺提供多種選擇，包括加熱/冷卻晶圓卡盤，標準或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺分度，為您的所有高效設備表征提供經(jīng)濟高效且易于使用的解決方案。晶圓級可靠性測試需求。這些半自動探針臺有三種選擇（標準，高精度和高速）。

LCS-4000系列分析探針臺配有激光切割系統(tǒng) 帶有集成激光切割系統(tǒng)的LCS-4000探針臺為用戶提供了半導體診斷切割，失效分析，修整，標記和頂層去除的大靈活性。所有這些功能都可以在微觀層面上進行，所有這些都在這一系統(tǒng)上進行，這提供了非常易于使用的高水平性能。

A4P四點探針自動電阻率測繪系統(tǒng) A4P系列晶圓電阻率映射器使用經(jīng)過驗證的行業(yè)標準，可以快速，準確，可靠地測量樣品電阻率分布。MicroXact的四點探針通過使電流通過四點探頭的外部點并測量內部點的電壓來測量半導體晶圓層的平均電阻。然后可以通過將薄層電阻乘以薄膜的厚度來找到電阻率的值，即賦予其電阻的材料的性質。

ossila四點探針臺是一款易于使用的工具，用于快速測量材料的薄層電阻，電阻率和電導率。 通過使用我們自己的源測量單元，我們能夠創(chuàng)建一個低成本的系統(tǒng)，使測量范圍更廣泛。 探頭采用彈簧加載接觸，而不是尖銳的針頭，防止損壞精密樣品，如厚度在納米左右的聚合物薄膜。

經(jīng)濟高效，穩(wěn)定，可靠，方便的改善在極低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內置振動隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，*密封性，使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應用，如石墨烯的研究，分子電子學等的，系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機和專有的熱管理，可以經(jīng)濟快速的操作。內置的隔振Z小化振動符合行業(yè)標準。超穩(wěn)定的微操縱滿足設備探針*的準確和可重復的接觸。