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手動(dòng)探針臺(tái) P300J電動(dòng)手動(dòng)探針臺(tái)：電動(dòng)手動(dòng)探針臺(tái)，300mm，-55到300℃ P300A半自動(dòng)探針臺(tái)：專為低電流、亞微米定位應(yīng)用而設(shè)計(jì)，300mm，-55到300℃

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P200L半自動(dòng)探針臺(tái)：半自動(dòng)探針臺(tái)，200mm，-65到400℃， P300L半自動(dòng)探針臺(tái)：半自動(dòng)探針臺(tái)，300mm，-55到300℃

2210-LS 通用探針臺(tái)：通用型探針臺(tái)，室溫可達(dá)24寸，高溫或低溫可達(dá)18英寸，300mm以下晶圓，溫度-400到125℃

SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活且易于使用。這些手動(dòng)探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟(jì)性使它們屬于自己的一類。憑借高達(dá)200mm的晶圓功能，DC或RF探頭和可選的熱卡盤以及各種屏蔽選項(xiàng)，我們的探針臺(tái)可用于廣泛的應(yīng)用，例如故障分析，可靠性測(cè)試，IV / CV測(cè)試，低目前的測(cè)試，微波和射頻表征等等。

隨著半導(dǎo)體變得越來(lái)越小和越來(lái)越復(fù)雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過(guò)程的更上游。使用MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)進(jìn)行的晶圓級(jí)可靠性測(cè)試通過(guò)一系列壓力測(cè)試收集數(shù)據(jù)，以識(shí)別可能影響器件長(zhǎng)期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級(jí)可靠性測(cè)試之后可以進(jìn)行進(jìn)一步的和廣泛的故障分析。 系統(tǒng)構(gòu)建在一個(gè)重型，通用的平臺(tái)上，能夠配置為處理各種探測(cè)應(yīng)用。