It’s not only Spin Coater, it’s Spin Processor!

——勻膠機顧名思義，一種可以“讓膠液均勻涂敷的機器”。MYCRO的WS-650S所有數(shù)據(jù)結果都可以通過電腦輸出并予以保存。完成從單純旋轉機器到旋涂儀器的升級。

    勻膠機是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實驗室設備，它的原理相對比較簡單，利用電機高速旋轉時所產生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，顧名思義，一種可以“讓膠液均勻涂敷的機器”。

    勻膠機有很多稱謂，勻膠臺，旋轉涂膜機，旋轉涂層機或者旋轉涂敷機等等，它的英文是 Spin Coater（旋轉涂膜的意思）。

    勻膠機既然是科研開發(fā)上制備薄膜材料*的方法之一，使用者對于該設備zui大的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會用均一性和可重復性來衡量薄膜材料制備的好壞。

    國內外對于這種勻膠旋涂設備的發(fā)展呈現(xiàn)出很大的差距。中國先開展勻膠機研制的單位是中科院微電子所，推出的KW-4A型號的勻膠機，具有低速起步和高速旋轉兩個單位。

    國外的高性能勻膠機zui早則集中在美國和德國。后來隨著半導體工業(yè)的發(fā)展，日韓等國家也開發(fā)出性價比較高的勻膠機器。

    日韓等國隨著在半導體制程，LCD，TFT顯示材料的研發(fā)制造等領域的發(fā)展占據(jù)先機，所開發(fā)的產品基本上集中于半導體濕制程系列工藝中的自動化控制系統(tǒng)，由于涉及到與其它工序的自動化集成的趨勢，故產品價格高得也令人咂舌。目前美德諸多公司也放棄利潤低下的單獨功能的勻膠產品發(fā)展，全部集中于半導體整體工藝的解決方案提供。

     MYCRO美國產的勻膠設備WS-650MZ和WS-650HZ系列，除了對于轉速的精密控制以外（轉速范圍50~12000轉/分，分辨率小于0.5轉/分，可重復性小于±0.5轉/分，由美國NIST工業(yè)標準認證，無需再校準，加速度可達80000RPM/S，zui低則可達1RPM/S），加速時間可調范圍1秒至99分59.9秒，zui小增加度0.1秒。

     MYCRO的WS-650MZ和WS-650HZ勻膠機還可以通過與電腦鏈接，以及隨機附帶的SPIN分析軟件，對于每次實驗結果進行分析調試，并挑選出*的制備過程。所有數(shù)據(jù)結果都可以通過電腦輸出并予以保存。完成從單純旋轉機器到旋涂儀器的升級。