美國Tergeo系列臺式等離子清洗機為實驗室、研發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)部門提供性價比高的小型等離子清洗設(shè)備。Tergeo-EM等離子清洗機是為SEM / TEM樣品清洗應(yīng)用而設(shè)計。它取代了標(biāo)準(zhǔn)Tergeo等離子清洗機中的石英窗，采用不銹鋼適配器，可放入兩個不同品牌的TEM樣品桿，可將SEM樣品架放置在內(nèi)部石英板上進行清洗。

特點：

1）雙等離子源設(shè)計可滿足不同樣品的要求。 間接模式足夠溫和，可以處理3nm超薄多孔碳網(wǎng)格。 直接模式可以足夠強，可以去除超過幾微米厚的有機污染層。

直接/浸入式清洗模式

在樣品室中產(chǎn)生等離子體。將樣品浸入等離子體中，樣品與自由基和高能離子濺射發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。用于高速光刻膠灰化，蝕刻和樣品表面處理。

遠程/下游式清洗模式

在樣品室外產(chǎn)生等離子體。只有電中性的活性自由基(比如原子氧，原子氫)進入樣品室， 離子和電子只存在于樣品室以外的等離子源里面。因為樣品未浸入等離子體中，樣品表面僅和中性自由基發(fā)生溫和的化學(xué)反應(yīng)。 沒有高能離子濺射！用于易損薄膜，如多孔碳TEM網(wǎng)格和熱敏復(fù)合材料，聚合物和生物樣品等。

2）脈沖等離子技術(shù)可為極薄的多孔碳網(wǎng)生成極弱的等離子體，降低等離子體對樣品的損傷。

脈沖模式操作可顯著降低精細樣品的平均等離子體強度。

用戶可以通過改變射頻功率或射頻脈沖來調(diào)節(jié)等離子體強度。

3）*的等離子體強度傳感器定量監(jiān)測等離子體強度，用戶可以根據(jù)不同種類的樣品調(diào)整等離子體。

4）直觀的操作，大型7英寸觸摸屏。 可從外部計算機操作。 可保存運行日志文件。 具有智能自診斷功能。

5）可批量處理樣品。 石英腔：直徑110mm，深度280mm，帶有矩形石英樣品盤（100mmX250mm），可容納一批樣品。雙TEM桿適配器，可配置兩個不同品牌的TEM樣品桿。

應(yīng)用實例

等離子體清洗前后的TEM樣品

 Ted-Pella 20nm純碳網(wǎng)格（01843）

應(yīng)用方案

在材料測試中，樣品自身可將碳氫污染物引入SEM，F(xiàn)IB和TEM樣品室，長時間的電子束掃描會分解樣品室里面的潤滑油、真空油脂，造成碳氫污染，從而導(dǎo)致樣品表面形成黑色碳沉積。XPS數(shù)據(jù)顯示，在暴露在空氣中僅一小時后，干凈樣品的表面就被空氣中的碳氫化合物污染。不少樣品自身也會引入碳氫污染。對于高分辨率FE-SEM上的低著陸能量高分辨率二次電子模式成像，二次電子主要來自很淺的表層。如果樣品表面被一層碳氫化合物污染，則電子信號大部分從污染層中出來。因此，碳氫化合物污染會降低圖像對比度和分辨率。

在材料測試前，我們需要預(yù)清洗SEM和TEM上的碳氫污染物，以確保其準(zhǔn)確度。可使用Tergeo-EM臺式等離子清洗機預(yù)清潔SEM和TEM?？墒褂每諝?，Ar， O2或H2氣體以及不同比例的混合氣體在Tergeo-EM等離子體清洗機中產(chǎn)生等離子體，自由基可以有效地去除樣品表面上的碳氫化合物污染物。Tergeo-EM等離子清洗機可將浸沒模式等離子體清潔（樣品浸沒在等離子體中）和下游模式等離子體清潔（樣品放置在等離子體外）集成在一個系統(tǒng)中的TEM / SEM等離子清洗機 。Tergeo-EM等離子清洗機可滿足從高速光阻膠灰化到柔和地清洗石墨烯、碳納米管、DLC（類金剛石碳）、碳纖維、碳網(wǎng)、多孔TEM樣品，以及其他超薄涂層的樣品清洗。此外，*的脈沖模式可產(chǎn)生極短的等離子體脈沖，為精細樣品進一步降低等離子體強度。等離子傳感器技術(shù)可實時監(jiān)測等離子體強度。它可以幫助用戶為不同類型的樣品設(shè)置正確的清潔配方。